Repository logoGCRIS

Üstün dielektrik özelliklere sahip ince HfO2 filmlerin büyütmeye eş zamanlı spektroskopik elipsometrik saçtırma yöntemi ile üretimi ve karakterizasyonu

Contributors

Project Funders

Project Title

Üstün dielektrik özelliklere sahip ince HfO2 filmlerin büyütmeye eş zamanlı spektroskopik elipsometrik saçtırma yöntemi ile üretimi ve karakterizasyonu

Project Investigator

Project Coordinator

Project Coinvestigators

Project No

Project Start Date

Project End Date

Project Duration

Project Funders

Project Funding Program

Project Partners

Project Status

Project Award Description

Project Equipments

Grant Amount

Grant Currency

Project Internal ID

Open Access Mandate

Handle URL

https://hdl.handle.net/11147/13118
 https://search.trdizin.gov.tr/en/yayin/detay/610953

relationships.isPublicationOf

Keywords

Saçtırma tekniği
Yüksek dielektrik
Mühendislik, Elektrik Ve Elektronik
Malzeme Bilimleri, Kaplamalar Ve Filmler